LTEMによるLSI故障解析のためのTHz波シミュレーション(II)

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 19p-L-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_913

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

LTEMによるLSI故障解析のためのTHz波シミュレーション(II)

*御堂義博, 山下将嗣, 松本徹, 斗内政吉, 二川清, 中前幸治

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キーワード: 19p-L-9, 量子エレクトロニクス, テラヘルツ全般･非線型光学, LSI故障診断, レーザーテラヘルツ放射顕微鏡, 電磁波シミュレーション

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