帯電シミュレータの開発と帯電現象への適用（１）

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17a-E-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_1376

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

帯電シミュレータの開発と帯電現象への適用（１）

*李燦, 横須賀俊之, 小林金也, 数見秀之

著者情報

キーワード: 17a-E-9, ビーム応用, 電子顕微鏡，評価，測定，分析, SEM, シミュレーション, 帯電

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2010 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top