超臨界CO<sub>2</sub>を用いて作製されたCu薄膜へのバリア層の影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 25a-CE-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_3003

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

超臨界CO₂を用いて作製されたCu薄膜へのバリア層の影響

*伊藤勝利, 沼川智則, 前田優樹, 野間隆弘, 江澤正晃, 宇原祥夫, 大竹勝人, 斉藤茂

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キーワード: 25a-CE-9, 半導体A（シリコン）, 配線技術, バリアメタル, 超臨界二酸化炭素, 銅

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