電子捕獲履歴現象を利用した多値ランダムテレグラフノイズの解析(II)：個々の酸化膜トラップの評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第74回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 19a-C8-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2013.2.0_3580

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 74

開催地: 同志社大学

開催日: 2013/09/16 - 2013/09/20

電子捕獲履歴現象を利用した多値ランダムテレグラフノイズの解析(II)：個々の酸化膜トラップの評価

*土屋敏章, 田村直義, 榊谷明仁, 園田賢一郎, 亀井政幸, 山川真弥, 桑原純夫

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キーワード: 19a-C8-3, 半導体A（シリコン）, Siデバイス／集積化技術, RTN

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