熱ナノインプリント法による非晶質材料表面へのシングルナノパターン転写

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 20a-A13-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_1454

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

熱ナノインプリント法による非晶質材料表面へのシングルナノパターン転写

*船迫友之, 野沢靖久, 譚ゴオン, 三田正弘, 金子智, 松田晃史, 吉本護

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キーワード: 20a-A13-5, ビーム応用, ナノインプリント, 熱ナノインプリント, ナノパターン

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