応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第62回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 13a-A24-8
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水蒸気を用いたプラズマ誘起原子層堆積法によるAl2O3膜の絶縁特性改善
*梅原 智明堀田 昌宏吉嗣 晃治石河 泰明浦岡 行治
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© 2015 公益社団法人 応用物理学会
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