透明フレキシブルデバイスに向けた低温プロセス ZnO 薄膜の物性評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13a-P18-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3839

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

透明フレキシブルデバイスに向けた低温プロセス ZnO 薄膜の物性評価

*渡邉拓, Mohd Khafe Adie Bin, 山内博, 国吉繁一, 酒井正俊, 飯塚正明, 工藤一浩

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キーワード: 13a-P18-5, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, 物性評価, 塗布型ZnO, 結晶性評価, 低温プロセス

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