パルスレーザー堆積法により作製したSrF<sub>2</sub>薄膜によるフィルタレス真空紫外光検出器の開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14p-PA10-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1401

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

パルスレーザー堆積法により作製したSrF₂薄膜によるフィルタレス真空紫外光検出器の開発

*大谷祥永, 村松宗太郎, 石川紘, 小野晋吾

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キーワード: 14p-PA10-13, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 新材料・新技術・評価手法など, 紫外センサ, フッ化物, パルスレーザー堆積法

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