シリコンドライエッチングを用いた 4 インチ X 線光学系開発の現状

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 15a-4E-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1477

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

シリコンドライエッチングを用いた 4 インチ X 線光学系開発の現状

*中村果澄, 江副祐一郎, 石川久美, 小川智弘, 佐藤真柚, 沼澤正樹, 武内数馬, 寺田優, 大橋隆哉, 満田和久, 倉島優一, 高木秀樹

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キーワード: 15a-4E-3, ビーム応用, X線技術, X線結像光学系, シリコンドライエッチング

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