大気圧を超える高圧マイクロ波プラズマの生成と診断

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-P5-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1662

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

大気圧を超える高圧マイクロ波プラズマの生成と診断

*井上健一, シュタウススヴェン, 金載浩, 寺嶋和夫

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キーワード: 19p-P5-5, プラズマエレクトロニクス, プラズマ生成・制御, マイクロ波プラズマの生成・制御, マイクロ波プラズマ, 高圧

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