アルミ蒸着薄膜への大気圧プラズマジェット照射(Ⅱ)

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 21p-P7-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1790

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

アルミ蒸着薄膜への大気圧プラズマジェット照射(Ⅱ)

*山口健志, 磯村雅夫, 桑畑周司

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キーワード: 21p-P7-8, プラズマエレクトロニクス, プラズマ現象・新応用・融合分野, 原子分子・放電過程, 大気圧プラズマジェット

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