応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
The 63rd JSAP Spring Meeting 2016
セッションID: 21p-P17-20
会議情報

主催: The Japan Society of Applied Physics

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

Application of Supercritical Carbon Dioxide in Electroplating of Gold Materials Used in MEMS Devices
*唐 浩峻, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, 町田 克之, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人
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キーワード: 21p-P17-20, MEMS, Gold electroplating, Supercritical carbon dioxide
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© 2016 The Japan Society of Applied Physics
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