応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第77回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 14a-A37-6
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水蒸気を反応ガスに用いた低温スパッタ法による酸化ニッケル薄膜の作製
*阿部 良夫山内 駿川村 みどり金 敬鎬木場 隆之奈良井 哲
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