応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第77回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 14a-P6-11
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GaN中のプラズマ照射誘起欠陥の挙動解析
*若杉 勇作中村 成志奥村 次徳
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