炭素クラスターイオン注入Siエピウェーハの特徴(1) -注入層における酸素が重金属のゲッタリング能力に与える影響-

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 15p-A23-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_3320

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

炭素クラスターイオン注入Siエピウェーハの特徴(1) -注入層における酸素が重金属のゲッタリング能力に与える影響-

*柾田亜由美, 仲井敏郎, 廣瀬諒, 門野武, 奥山亮輔, 古賀祥泰, 奥田秀彦, 栗田一成

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キーワード: 15p-A23-5, 結晶工学, 結晶評価，不純物・結晶欠陥, 電気的評価, シリコンウェーハ, 炭素クラスターイオン注入, 近接ゲッタリング

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