Graphene-Growth by Microwave Surface-Wave Plasma CVD

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

The 77th JSAP Autumn Meeting 2016

セッションID: 13p-P5-38

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_3508

会議情報

主催: The Japan Society of Applied Physics

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

Graphene-Growth by Microwave Surface-Wave Plasma CVD

*Hare Aryal, Sudip Adhikari, Hideo Uchida, Masayoshi Umeno

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キーワード: 13p-P5-38, graphene, nitrogen doping, plasma CVD

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© 2016 The Japan Society of Applied Physics

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