ビルトインレンズマスクによる3次元フォトリソグラフィの検証

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14p-423-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_1659

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

ビルトインレンズマスクによる3次元フォトリソグラフィの検証

田中利樹, 杉原大貴, 笹子勝, 菊田久雄, 川田博昭, *平井義彦

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キーワード: 14p-423-13, ビーム応用, 微細パターン・微細構造形成技術, 光リソ, フォトリソグラフィ, 三次元, マスク

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