Si/B添加β-FeSi<sub>2</sub>/Si多結晶積層構造における1.5 μm発光の面内分布評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 7p-PB4-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_2824

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

Si/B添加β-FeSi₂/Si多結晶積層構造における1.5 μm発光の面内分布評価

*池田修哉, 瀬戸島健太, 扇和也, 岡直大, 寺井慶和

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キーワード: 7p-PB4-1, 半導体, 探索的材料物性・基礎物性, シリサイド半導体，環境半導体, 鉄シリサイド, PL, 電気特性

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