イオン注入を用いた多重量子ドット混晶化における打ち込みイオン価数の影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 6a-C14-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_978

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

イオン注入を用いた多重量子ドット混晶化における打ち込みイオン価数の影響

*松井信衞, 赤石陽太, 伊澤昌平, 松本敦, 赤羽浩一, 松島裕一, 石川浩, 宇髙勝之

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キーワード: 6a-C14-2, 光・フォトニクス, 半導体光デバイス, 新規材料・デバイス，応用, 量子ドット, 組成混合, イオン注入

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