テクスチャ構造SiC 薄膜の光学特性の表面粗さ依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第65回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17p-P1-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.1.0_386

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 65

開催地: 早稲田大学・ベルサール高田馬場

開催日: 2018/03/17 - 2018/03/20

テクスチャ構造SiC 薄膜の光学特性の表面粗さ依存性

*河村優樹, 成田克, 齊藤敦, 中島健介, 末光眞希

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キーワード: 17p-P1-7, 応用物理学一般, 応用物理一般・学際領域, 学際領域, 炭化ケイ素, 表面粗さ, 光学特性

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