第66回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 10a-S011-6
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会春季学術講演会
回次: 66
開催地: 東京工業大学 大岡山キャンパス
開催日: 2019/03/09 - 2019/03/12
ミストCVD法によるサファイア基板上a面及びm面ZnO薄膜結晶の品質向上
キーワード:
10a-S011-6,
合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」,
合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」,
薄膜成長,
半導体,
酸化亜鉛,
バッファ層
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