スピンコート法で形成したアルミナ膜のシリコン表面パッシベーション効果に関する研究

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第80回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 19a-PA4-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_3736

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 80

開催地: 北海道大学札幌キャンパス

開催日: 2019/09/18 - 2019/09/21

スピンコート法で形成したアルミナ膜のシリコン表面パッシベーション効果に関する研究

中島義治, 氷室貴大, *齋藤洋司, 渡邊良祐

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キーワード: 19a-PA4-8, 非晶質・微結晶, シリコン系太陽電池, パッシベーション技術, シリコン太陽電池, パッシベーション, アルミナ膜

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