応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第67回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 15a-A305-9
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学 四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

ALD-ZrO2/TiO2/SiO2 MOS構造から観察されるポテンシャル変調動作
*浅沼 周太郎, 住田 杏子, 宮口 有典, 堀田 和正, 神保 武人, 齋藤 一也, 宮田 典幸
著者情報
キーワード: 15a-A305-9, 半導体, 絶縁膜技術, メモリデバイス用絶縁膜（浮遊ゲート型、チャージトラップ型、抵抗変化型等）, 界面ダイポール変調, ZrO2, ALD
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