応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第68回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 17p-Z26-14
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LSI多層配線単層バリア材料としてのコバルト合金の可能性
*山田 裕貴矢作 政隆小池 淳一
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