応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第68回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 19a-Z27-5
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

ナノビームX線回折法によるNPSS上AlN厚膜の深さ分解結晶性トモグラフィック評価
*山本 望, 林 侑介, 濱地 威明, 中西 悠太, 藤平 哲也, 隅谷 和嗣, 今井 康彦, 木村 滋, 正直 花奈子, 三宅 秀人, 酒井 朗
著者情報
キーワード: 19a-Z27-5, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 構造解析, 窒化アルミニウム, ナノビームX線回折法, ナノパターン加工サファイア基板
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