4H-SiC溶液成長における溶媒添加剤によるマクロステップ挙動の変化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17a-Z28-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2661

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

4H-SiC溶液成長における溶媒添加剤によるマクロステップ挙動の変化

*三谷武志, 江藤数馬, 加藤智久

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キーワード: 17a-Z28-1, 結晶工学, IV族系化合物（SiC）, バルク結晶, 溶液成長, マクロステップ, 溶媒

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