アニール処理によるDLCの電気化学特性変化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第82回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 22a-P02-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1305

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

アニール処理によるDLCの電気化学特性変化

*河上瑛彦, 長谷部伸一, 向山義治, 平栗健二, 大越康晴

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キーワード: 22a-P02-7, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, 非晶質カーボン薄膜, 電気化学, ダイヤモンドライクカーボン

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