SiO<sub>2</sub>/Si(001)界面のバンドベンディングへの酸素と放射光のON-OFF効果

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第82回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 10a-N204-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1460

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

SiO₂/Si(001)界面のバンドベンディングへの酸素と放射光のON-OFF効果

*津田泰孝, 小川修一, 吉越章隆, 坂本徹哉, 高桑雄二

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キーワード: 10a-N204-9, 薄膜・表面, 表面物理・真空, 表面, 半導体, 酸化, シリコン

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