応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第82回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 10p-N102-4
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

Si上無極性AlN成長への高N₂スパッタガス流量の効果
*森田 雅也, 石橋 啓次, 高橋 健一郎, 上田 茂典, 知京 豊裕, 小椋 厚志, 長田 貴弘
著者情報
キーワード: 10p-N102-4, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MBE, スパッタリング）, 窒化アルミニウム, スパッタリング, 窒化ガリウム
会議録・要旨集 フリー

詳細
PDFをダウンロード (569K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
記事の1ページ目
著者関連情報
© 2021 公益社団法人 応用物理学会
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
このページを共有する
feedback
 Top