ミストCVDによるZnOナノ粒子分散ZnMgO薄膜の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第82回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 23p-P12-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_3350

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

ミストCVDによるZnOナノ粒子分散ZnMgO薄膜の作製

*奈良俊宏, 小野田翔悟, 矢ヶ崎司, 田中京輔, 光野徹也, 小南裕子, 原和彦

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キーワード: 23p-P12-4, 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 薄膜成長, ミスト化学気相法, 酸化亜鉛, ナノ粒子

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