アモルファス炭素膜中の<i>sp</i><sup>2</sup>結合炭素の秩序

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 24p-E204-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1171

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

アモルファス炭素膜中のsp²結合炭素の秩序

神田一浩, 新部正人, 馬田直樹, 平田祐樹, 大竹尚登, *赤坂大樹

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キーワード: 24p-E204-2, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, 非晶質カーボン薄膜, アモルファス炭素膜, sp2結合炭素

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