230 nm遠紫外第二高調波発生に向けたHfO<sub>2</sub>/AlN横型擬似位相整合チャネル導波路の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 26p-E203-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2737

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

230 nm遠紫外第二高調波発生に向けたHfO₂/AlN横型擬似位相整合チャネル導波路の作製

*本田啓人, 俵悠弥, 藤原康文, 正直花奈子, 三宅秀人, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二

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キーワード: 26p-E203-6, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 光デバイス（紫外）, 紫外光, 窒化物半導体, 光デバイス

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