JSME Materials and Processing Conference (M&P)
Online ISSN : 2424-2861
セッションID: CSW-06
会議情報
CSW-06: Preparation of Amorphous Carbon Films from Radical Species Using Surface Wave Plasma(CSW-II: COATING, SURFACE MODIFICATION AND WEAR)
H. AKASAKA, M. FURUKAWA, N. OHTAKE
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