生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会
Online ISSN : 2424-3094
セッションID: C03
会議情報

主催: 一般社団法人 日本機械学会

会議名: 第15回生産加工・工作機械部門講演会

開催日: 2024/10/04 - 2024/10/05

ナノスクラッチングによる単結晶SiCの加工特性の評価
（N型4H-SiC基板の加工性と工具摩耗）
*清水 淳, 望月 勇杜, 三枝 剣悟, 金子 和暉, 小貫 哲平, 尾嶌 裕隆, 周 立波
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キーワード: 4H-SiC, Si face, nanoscratching, tool wear, crystal anisotropy
会議録・要旨集 認証あり

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