東北支部総会・講演会　講演論文集
Online ISSN : 2424-2713
セッションID: 164
会議情報

主催: 一般社団法人 日本機械学会

会議名: 日本機械学会 東北支部第52期総会・講演会

開催日: 2017/03/04

ナノ表面構造を持つカンチレバーの力学応答を利用した湿度センサ
*外間 匠, 菊池 亜紀応, Nguyen Van Toan, 戸田 雅也, 小野 崇人
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キーワード: Micro cantilever, humidity sensor, surface stress
会議録・要旨集 認証あり

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