セッションID: 111_paper
会議情報
主催: 一般社団法人 日本機械学会
会議名: 日本機械学会 東北支部第56期総会・講演会
開催日: 2021/03/12
高電流密度下における薄膜配線粒界割れ現象に及ぼす結晶品質の影響
キーワード:
Intergranular Cracking,
EBSD Analysis,
Crystallinity of a Grain Boundary,
Thin-Film Interconnection,
Electromigration
詳細
記事の1ページ目
