東京工業大学大学院
71 巻 (2005) 6 号 p. 729-733
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アルゴンイオンレーザ光をシリコンウェーハに照射した. レーザ出力3W以上では, 照射跡が隆起した. FT-IRにより隆起部分の表面は酸化していること, ラマン分光分析により内部に引張応力が残留していることが明らかになった. 出力3W以下では隆起は認められないが, 濡れ性や耐腐食性などが変化した. この性質変化部分をKOHエッチングにおけるマスクに応用し, エンコーダ用リニアスケールを試作した.
精密工学会誌
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