CVDダイヤモンド膜の研磨に関する研究 (第1報) ―超音波振動の援用による砥粒レス超音波研磨法の検討―

横沢 毅; 高木 純一郎; 片岡 征二; 田中 信一

doi:10.2493/jspe.71.1131

論文

CVDダイヤモンド膜の研磨に関する研究 (第1報)

―超音波振動の援用による砥粒レス超音波研磨法の検討―

横沢毅, 高木純一郎, 片岡征二, 田中信一

著者情報

ジャーナルフリー

2005 年 71 巻 9 号 p. 1131-1136

DOI https://doi.org/10.2493/jspe.71.1131

詳細

抄録

耐摩耗性や潤滑性に優れたCVDダイヤモンド膜をプレス金型にコーティングし, 無潤滑プレスを行うことを検討している. しかし一方でCVDダイヤモンド膜は, 多結晶体構造をしているために表面粗さが大きく, プレス金型のコーティング膜として利用するためにはは研磨が必要になる. そこで, ダイヤモンドとの反応性が高い工具に超音波を印加し, これをダイヤモンド膜に押し当てることによって発生する摩擦熱を利用した, 砥粒を用いない超音波研磨法を提案し, その可能性について検討する.

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）