イオンビームによる表面構造解析

抄録

低速イオン散乱分光 (LEIS法またはISS), 中速イオン散乱分光 (MEIS), 高速イオン散乱分光 (HEISまたはRBS) による表面構造解析のこれまでの発展を振り返り, 現状について実際の研究例をあげながら解説し, 将来の展望を行っている。