カソードルミネセンスによるGaAs-AlGaAsヘテロ界面の評価

抄録

走査型カソードルミネセンス法を用いてGaAs-AlGaAs量子井戸を評価すると, ヘテロ界面の凹凸に関する情報が単分子層の尺度で得られる。ルミネセンス・スペクトルおよびルミネセンス・パターンからどの様な情報が得られるかについて紹介し, 走査型カソードルミネセンス法の有用性を示す。特に, 波長, 時間, 空間分解することにより, 量子井戸の評価には有力な手段となることを示す。