STM/STSを用いた半導体表面の研究

抄録

走査型トンネル顕微鏡 (Scanning Tunneling Microscope : STM) の出現により, 固体表面の原子構造を実空間で, しかも原子レベルの分解能を持って観察できるようになった。STM観察中に, 探針を適当な場所に固定してトンネル分光を行えば, 原子レベルの空間分解能を持つスペクトロスコピー (Scanning Tunneling Spectroscopy : STS) が可能となる。本解説では, STM/STSを用いた半導体表面に関する研究-DAS (Dimer-Adatom-Stackingfault) ファミリーの表面原子構造と電子状態, Si (111) 7×7表面のNH₃に対する反応性, 金属/GaAs (110) 界面の電子状態-について述べる。