抄録
時代をさかのぼること紀元前,中国前漢の技術書に記述されていた魔鏡が,現代のハイテクに鮮やかによみがえった。緩やかな鏡面のわずかな凹凸を高感度で,しかも一度に大面積をマップ上に表示できるという他の表面分析法にない特徴を有している。このために超LSI用のウェーバーやマスクガラス,ハードディスク,液晶用ガラス等の鏡面の検査などに,さらには評価の困難な研磨工程管理に欠かせないものとなっている。また,表面欠陥の位置を確認し,大よその欠陥の種類を推定して,他の局所的な解析方法で詳細な評価を行うための事前評価法としての認識も広がっている。
