テンプレート法による機能性薄膜の作成

陽極酸化アルミナによる微細孔構造の作成

抄録

既存の微細な構造をもつ材料を母型とし,これを他の物質の表面に転写することにより,微細な規則構造を有する表面を形成することができる。代表的な多孔性規則構造材料であるAl陽極酸化多孔質皮膜を例に,サブミクロン～ナノメートル領域での微細構造転写について検討を行った結果を紹介する。湿式プロセスを中心にいくつかの転写プロセスについて検討を行い,種々の材料による微細構造の作成が可能なことを示した。