平板上にサイズの揃った金属超微粒子を設計する方法

抄録

平坦な基板上に,サイズの揃った超微粒子を担持させるための技術は,磁気的あるいは光学的記録素子などにかかわるエレクトロニクスの開発研究,ならびに触媒化学の基礎研究において,重要な位置を占めている。その代表的な方法例として,真空蒸着法と電子線リソグラフィーの特徴について述べる。前者では,担持された粒子の位置がランダムであるが,粒子サイズのほぼ揃った超微粒子を作成することができ,簡単で直接的な手段である。また,後者は粒子のサイズと配列を,同時に制御することを目的としている。また,新しい可能性として,均一な細孔をもつ中空繊維を利用した微粒子作成法を紹介する。