酸化物高温超伝導体に関し,光電子分光・二次イオン質量分析など,さまざまな表面分析手法を用いた研究が行われている。これらの分析方法は,超伝導機構の解明など,基礎研究にも用いられるが,高温超伝導体の実用化の研究において,そのキャラクタリゼーションの手法として,これからますます重要性を増すと考えられる。本稿では実用分析の観点から,X線光電子分光(XPS)・オージェ電子分光(AES)・二次イオン質量分析(SIMS)・ラザフォード後方散乱(RBS)を用いて高温超伝導物質を測定した結果の現況についてまとめる。