多孔質シリコンの構造と可視発光

抄録

HF溶液中での電気化学的な手法(陽極化成)により作製される多孔質シリコンは,可視波長域で高効率のフォトルミネッセンス(PL)を示すSiの特殊形態である。本稿では多孔質シリコンの構造とPL特性についてこれまで報告された内容をまとめて紹介する。