Dynamical Simulation of Binary Alloy Sputtering

Yasunori YAMAMURA

doi:10.1380/jsssj.14.591

合金スパッタリングのダイナミカル・シミュレーション

山村泰道

著者情報

ジャーナルフリー

1993 年 14 巻 10 号 p. 591-596

DOI https://doi.org/10.1380/jsssj.14.591

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発行日: 1993/12/10 受付日: 1993/05/19 J-STAGE公開日: 2009/08/07 受理日: 1993/05/19 早期公開日: - 改訂日: -
訂正情報
訂正日: 2009/08/07 訂正理由: - 訂正箇所: 引用文献情報訂正内容: Wrong : 1) G. K. Wehner : “Methods of Surface Analysis” (ed. A. W. Czanderna, Elsevier, New York, 1975) Chap. 1.
2) G. Betz and G. K. Wehner : “Sputtering by Particle Bombardment II” (ed. R. Behrisch, Springer, 1983) p. 11.
3) H. H. Andersen : “Ion Implantation and Beam Processing” (eds. J. S. Williams and J. M. Poate, Academic Press, 1984) p. 127.
4) “Surface Segregation Phenomena” (eds. P. A. Dowben and A. Miller, CRC Press, Boston, 1991).
5) W. Eckstein and W. Möler : Nucl. Instrum. Methods B 7/8, 727 (1985).
6) R. Kelly: Surf. Sci. 100, 85 (1980).
7) H. Shimizu, M. Ono, N. Koyama and Y. Ishita : J. Appl. Phys. 53, 3044 (1982).
8) R. S. Li, T. Koshikawa and K. Goto : Surf. Sci. 121, 1561 (1982).
9) P. S. Ho : Surf. Sci. 72, 253 (1978).
10) D. G. Schwartzfager, S. B. Ziemecki and M. J. Kelly: J. Vac. Sci. Technol. 19, 185 (1981).
11) N. Itoh and K. Morita : Radiat. Eff. 80, 164 (1984).
12) W. Eckstein and J. P. Biersack : Appl. Phys. A 37, 95 (1985).
13) M. Hou and W. Eckstein : Nucl. Instrum. Methods B13, 324 (1986).
14) Y. Yamamura and Y. Mizuno : IPPJ-AM-40. Inst. Plasma Physics. Nagoya Univ. (1985).
15) W. Möler and W. Eckstein : Nucl. Instrum. Methods B2, 799 (1984).
16) M. L. Roush, T. S. Andreadis and O. F. Goktepe : Radiat. Eff. 55, 119 (1981).
17) Y. Yamamura : Nucl. Instrum. Methods. B 28, 17 (1987).
18) H. J. Kang, J. H. Kim, Y. S. Kim, D. W. Moon and R. Shimizu : Surf. Sci. 226, 93 (1990).
19) K. L. Wilson and M. I. Baskes : J. Nucl. Mater. 76/77, 291 (1978).
20) J. du Plessis and E. Taglauer : Surf. Sci 260, 355 (1992).
21) J. du Plessis, G. N. Van Wyk and E. Tagauer : Surf. Sci. 381 (1989).
22) T. Takiguchi, M. Ishida and Y. Yamamura : Rad. Eff. Crystal Defects (in press).
23) D. T. Ling, J. N. Miller, I.Lindau, W. E. Spicer and P. M. Stefan : Surf. Sci. 74, 612 (1978).
24) A. Kurokawa, H. J. Lee and R. Shimizu : Surf. Sci. 255, 120 (1991).

Right : 1) G. K. Wehner : “Methods of Surface Analysis” (ed. A. W. Czanderna, Elsevier, New York, 1975) Chap. 1.
2) G. Betz and G. K. Wehner : “Sputtering by Particle Bombardment II” (ed. R. Behrisch, Springer, 1983) p. 11.
3) H. H. Andersen : “Ion Implantation and Beam Processing” (eds. J. S. Williams and J. M. Poate, Academic Press, 1984) p. 127.
4) “Surface Segregation Phenomena” (eds. P. A. Dowben and A. Miller, CRC Press, Boston, 1991).
5) W. Eckstein and W. Möler : Nucl. Instrum. Methods B 7/8, 727 (1985).
6) R. Kelly: Surf. Sci. 100, 85 (1980).
7) H. Shimizu, M. Ono, N. Koyama and Y. Ishita : J. Appl. Phys. 53, 3044 (1982).
8) R. S. Li, T. Koshikawa and K. Goto : Surf. Sci. 121, 1561 (1982).
9) P. S. Ho : Surf. Sci. 72, 253 (1978).
10) D. G. Schwartzfager, S. B. Ziemecki and M. J. Kelly: J. Vac. Sci. Technol. 19, 185 (1981).
11) N. Itoh and K. Morita : Radiat. Eff. 80, 164 (1984).
12) W. Eckstein and J. P. Biersack : Appl. Phys. A 37, 95 (1985).
13) M. Hou and W. Eckstein : Nucl. Instrum. Methods B13, 324 (1986).
14) Y. Yamamura and Y. Mizuno : IPPJ-AM-40. Inst. Plasma Physics. Nagoya Univ. (1985).
15) W. Möler and W. Eckstein : Nucl. Instrum. Methods B2, 799 (1984).
16) M. L. Roush, T. S. Andreadis and O. F. Goktepe : Radiat. Eff. 55, 119 (1981).
17) Y. Yamamura : Nucl. Instrum. Methods. B 28, 17 (1987).
18) H. J. Kang, J. H. Kim, Y. S. Kim, D. W. Moon and R. Shimizu : Surf. Sci. 226, 93 (1990).
19) K. L. Wilson and M. I. Baskes : J. Nucl. Mater. 76/77, 291 (1978).
20) J. du Plessis and E. Taglauer : Surf. Sci 260, 355 (1992).
21) J. du Plessis, G. N. Van Wyk and E. Tagauer : Surf. Sci. 381 (1989).
22) T. Takiguchi, M. Ishida and Y. Yamamura : Rad. Eff. Crystal Defects (in press).
23) D. T. Ling, J. N. Miller, I.Lindau, W. E. Spicer and P. M. Stefan : Surf. Sci. 74, 612 (1978).
24) A. Kurokawa, H. J. Lee and R. Shimizu : Surf. Sci. 255, 120 (1991).

抄録

合金,特に,2元合金をイオンで照射した場合の選択スパッタリング,および表面近傍の組成の変化をACAT-DIFFUSEコードによるシミュレーション結果を通して解説をする。そして,実験とシミュレーションを比較することにより,現在,理解されていること,また,シミュレーション結果を踏まえてぜひ実験してほしいことなどをまとめた。

責任著者(Corresponding author)

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