表面科学
Online ISSN : 1881-4743
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反応性イオンエッチングによる透過電顕用試料の新しい作製法
清水 延男
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1993 年 14 巻 4 号 p. 236-237

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抄録

This note reports about a new fabrication technique for transmission electron microscope samples by utilizing reactive ion etching. This technique has an advantage of high throughput.

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© 社団法人 日本表面科学会
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