マイクロプローブESCA

抄録

イメージングESCAあるいは光電子分光顕微鏡という言葉が最近聞かれるようになった。X線光電子分光 (XPS) はマクロ領域の分析法であるというこれまでの常識が破られ, マイクロプローブとしてのXPS装置が現実のものとなってきている。本稿では, ラボラトリー用XPS装置を中心にして現在まで開発されてきた各種の微小領域XPS測定法について概説する。