レーザープラズマパルス軟X線を用いた光電子分光法

抄録

レーザープラズマX線によって励起された微小領域における光電子の観測を行った。アルミニウムプラズマX線を多層膜分光器によって単色化した。236eV (波長5.25nm) の軟X線をウオルター型X線ミラーによっておよそ50μmに集光した。金の4f電子およびSiO₂の2P電子を静電半球型霜子エネルギー分析器で検出し, 約3eVの分解能を得た。20チャンネルの検出器の利用によって, 高速のパルス光電子エネルギー分布計測の可能性を示した。